ATM至超高真空雙真空計

Trigon™ BPG552ATM 至超高真空雙真空計

對于測量范圍要求從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的應用，Trigon™ 系列包括雙技術 BPG552 真空計。BPG552 由一個 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和一個經(jīng)典、堅固、可靠的皮拉尼傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙絲提供了精度、可重復性和使用壽命。

VacXplor 是我們的模塊化用戶軟件，旨在增強您使用 INFICON Trigon 真空計的體驗。VacXplor 提供統(tǒng)一的界面、動態(tài)數(shù)據(jù)可視化和高級定制選項，安裝時無需管理員權限。

優(yōu)勢：

1、雙測量儀（2 個傳感元件），測量范圍寬，降低成本，節(jié)省空間

2、用于 Bayard-Alpert 系統(tǒng)的 2 根燈絲

3、皮拉尼互鎖保護，避免燈絲過早燒毀

4、自動高真空皮拉尼調(diào)節(jié)，減少操作員干預

5、電隔離電子元件，避免雜散電流

6、滑動排放模式，避免切換排放流時出現(xiàn)壓力跳躍和凍結現(xiàn)象

7、可移動的校準數(shù)據(jù)芯片延長了烘烤時間

8、設定點繼電器

9、明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉），帶用戶界面

10、模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口

11、可與 VGC50x 控制器系列配合使用

12、向后兼容 BPG402

13、符合 RoHS 規(guī)范

典型應用：

• 1、半導體工藝中的壓力測量

• 2、工業(yè)鍍膜

• 3、低真空到超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測量和控制 超高真空范圍