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真空矩形傳輸閥Rectangular Transfer Valve是一種用于高真空環境的精密閥門設備,主要用于在真空系統中實現物料或樣品的傳遞。該閥門具有高頻率啟閉、低漏率和高耐壓等特點,廣泛應用于半導體、光伏、科研等領域,是真空傳輸系統中的關鍵組件。
矩形閥根據其運動軌跡的不同,主要可以分為直線運動型(I和L型)和旋轉運動型(J型)兩大類。每種運動軌跡都有其dute的優勢,用戶可以根據具體的應用需求和系統配置來選擇合適的類型。
1.I-motion矩形傳輸閥
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上升 ↑ │ │ ↑ ▲閥板垂直運動
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運動特征:閥板嚴格沿垂直方向上下移動(部分閥門設計時有一定傾斜角度),閉合時直接壓緊。(類似字母"I"的垂直軌跡)
特點 :結構簡單,啟閉速度快,維護便捷,低振動,密封面摩擦小,減少O-ring摩擦粉塵可能性,保證真空度,但由于閥門不提供橫向水平的密封力,不適用于超高壓差環境。
2. L-motion矩形傳輸閥
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│ 閥板 → ▲先垂直上升再水平平移
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運動特征 :閥板先垂直上升,運送閥板至閥門光學關閉位置,再水平方向運動,將閥板抵緊在閥門開口處,并持續施加載荷以使閥門完成密封。(運動軌跡類似字母"L")
特點 :閥板運動平穩,水平方向能提供一定的密封力,密封性能好。減少O-ring密封面的摩擦以減少粉塵,適用于大尺寸通徑,能夠處理較大的物料或樣品,但需要多軸驅動機構,啟閉時間相對較長,成本和維護復雜度較高。
3. J-motion矩形傳輸閥
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│ 閥板 ? ▲閥板沿弧形擺動上升
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運動特征 :凸輪搖臂式結構,閥板沿弧形軌跡運動,通過旋轉或擺動實現啟閉(類似字母"J"的尾部弧線)。
特點 :結構簡單,運動軌跡優化,占用空間小,工藝較為成熟,密封性能好,低漏率,但閥板旋轉時會與O-ring形成切向摩擦,可能造成磨損。